1、
当然，这样很容易出现错误和误输入，因此在编写处理XML的代码时必须非常小心。
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2、
它不仅影响工艺窗口，即，曝光容裕度和焦深（DOF），而且也降低了掩模误差因子（MEF），这能导致附加的掩模费用。
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