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关键工艺模块之一是新的LOCOS开发与硅栅光刻工艺改善的结合。
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Development& research on performance test rig for cylindrical coil springs used on locos and cars
机车车辆高圆弹簧性能试验台的开发与研究
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Much higher investment to run the number of locos I was planning.
但是,如果运行我要规划的那么多机车,则需要高得多的投资。
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对于集成光学器件和微电子电路制作,应用了驻波监控指示技术(SWAMI)、局部氧化技术(LOCOS)、光波导和探测器的平接、漏波,以及镜耦合技术。
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硅的局域氧化工艺是一个非常成熟的工艺,在微米时代有着广泛的应用。
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